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氏名:新海 聡子 Satoko SHINKAI
所属:マイクロ化総合技術センター
職名:准教授
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現在の専門分野:
・LSIの高信頼化に関する研究
・ディスクリート半導体デバイスに関する研究
・エピタキシャル成長を軸とした結晶成長に関する研究
・材料拡散特性に関する研究

キーワード:
LSI配線,拡散バリア,真空技術,

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● 研究活動の概要

 半導体集積回路の技術革新ほど目覚ましいものは他に例を見ないでしょう.半導体集積回路の基本要素であるトランジスタの発明から,今日の高性能コンピュータの出現まで ,僅か半世紀しか経っていません.特に 【S647】エブリイ [H17/8-H19/7][DA64V] セレクション Bellezza ベレッツァシートカバー,シリコン半導体集積回路は,高度情報・通信社会の基盤を支えるものとして,今も変わらずに期待されているばかりでなく,今後もより微細化が進み,更に大きな発展を遂げるものと予想されています.
 一方,近年花開いている携帯端末等の分野においては高周波デバイスが,幹線光通信用では半導体レーザが,エネルギー変換や省エネルギー問題に関連する分野ではパワーデバイスが,それぞれのシステム性能を決める重要なキーデバイスとなっています.このような化合物半導体に牽引されるディスクリート半導体デバイスの代表格である高周波デバイス,光デバイス,そしてパワーデバイスは カードでポイント最大34倍 3/21(木)20:00~3/26(火)1:59迄 YOKOHAMA ヨコハマ ブルーアース RV-02 ミニバン サマータイヤ 215/65R16 MONZA JP STYLE Baker ホイールセット 4本 16 X 6.5 +48 5穴 100 165/70R14 81T HIFLY ハイフライ HF201 エイチエフ ニイマルイチ EuroSpeed G810 ユーロスピード G810 サマータイヤホイール4本セット,近年,着実に基本素子性能を向上させています.
 本研究は,新規材料とプロセス技術をデバイス製造工程に適用することで,次世代半導体デバイスの新しい姿を提案することです.特に,Si-LSIにおいては,高速化・微細化・高信頼化に対応可能なLSIの確立を,LSIの構成要素材料および結晶構造的見地から行っています.当面の挑戦項目としては,新規材料導入によるプロセスと界面反応の問題解決が挙げられますが,長期的には,従来型のスケ―リングに伴う材料変更に頼るだけではなく,革新的な製造技術の提案を目標としています.一方 T2MN6 T2MN6 プレセットトルクレンチ TONE 1セット,ディスクリート半導体デバイスに関しては,個々の材料特性だけでなく,材料の組み合わせにより発現する様々な特性についても考慮し,

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,薄膜結晶成長技術を軸にした新規材料開発を行っています.

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九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
Addr. : 〒820-8502 福岡県飯塚市川津680-4
Tel. : 0948-29-7582
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